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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：本文描述了产生经修改的模拟轮廓和或基于经修改的轮廓产生量测量规的方法。一种产生用于测量衬底上的结构的物理特性的量测量规的方法包括：获得i与印制于所述衬底上的所述结构的所述物理特性相关联的测量数据，和ii所述结构的模拟轮廓的至少一部分，所述模拟轮廓的所述部分与所述测量数据相关联；基于所述测量数据修改所述结构的所述模拟轮廓的所述部分；和在所述模拟轮廓的经修改的部分上或附近产生所述量测量规，所述量测量规被放置以测量所述结构的所述模拟轮廓的所述物理特性。
主权项：1.一种训练与图案化过程相关联的机器学习模型的方法，所述方法包括：获得i衬底上的显影后图像ADI图案的轮廓数据、ii印制于所述衬底上的蚀刻后图像AEI图案的测量数据，和iii基于所述ADI图案的所述轮廓数据和所述AEI图案的所述测量数据获得参考偏置值；和使用所述测量数据和所述轮廓数据作为训练数据来训练所述机器学习模型以确定待施加至ADI轮廓的偏置值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 用于改善图像中的结构的基于过程的轮廓信息的方法
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