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申请/专利权人：丽水睿昇半导体科技有限公司
摘要：本发明属于半导体产品技术领域，公开了一种半导体产品的孔洞加工方法。半导体产品上设置有冷却通道以及与冷却通道连通的进水口和出水口，该半导体产品的孔洞加工方法用于加工半导体产品的孔洞。该半导体产品的孔洞加工方法包括以下步骤：封堵出水口，经由进水口向冷却通道注入冷却水，待冷却通道充满冷却水后，封堵进水口；冷冻半导体产品，直至冷却水由液态变为固态；在半导体产品上加工出孔洞，并清理加工孔洞产生的碎屑；加热半导体产品，以使冷却通道内的冷却水由固态融化为液态；打开出水口，经由出水口排出冷却通道内的冷却水。固态的冷却水能够填满冷却通道，避免碎屑进入冷却通道，提高了半导体产品的合格率。
主权项：1.一种半导体产品的孔洞加工方法，用于加工半导体产品100的孔洞2，其特征在于，所述半导体产品100上设置有冷却通道1以及与所述冷却通道1连通的进水口31和出水口32；所述半导体产品的孔洞加工方法包括以下步骤：S1、封堵所述出水口32，经由所述进水口31向所述冷却通道1注入冷却水，待所述冷却通道1充满冷却水后，封堵所述进水口31；S2、冷冻所述半导体产品100，直至所述冷却水由液态变为固态；S3、在所述半导体产品100上加工出所述孔洞2，并清理加工所述孔洞2产生的碎屑；S4、加热所述半导体产品100，以使所述冷却通道1内的冷却水由固态融化为液态；S5、打开所述出水口32，经由所述出水口32排出所述冷却通道1内的冷却水。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 丽水睿昇半导体科技有限公司 一种半导体产品的孔洞加工方法
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