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一种声表面波谐振器、滤波器以及电子设备 

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申请/专利权人:浙江星曜半导体有限公司

摘要:本申请公开了一种声表面波谐振器、滤波器以及电子设备,涉及谐振器领域,声表面波谐振器包括:压电衬底,用于声电换能;叉指电极,设置在压电衬底的一侧表面上,用于通过施加电压以激励压电衬底进行声电换能;叉指电极包括在第一方向上交替排布的第一指条和第二指条;第一指条和第二指条均沿第二方向延伸;两个反射栅,反射栅与叉指电极设置在压电衬底的同一侧表面上,在第一方向上,叉指电极位于两个反射栅之间;反射栅包括沿第一方向依次排布的多条反射栅指条;同一反射栅中,各条反射栅指条中具有规律分布的缝隙,用于降低声表面波谐振器的体波。本申请可以通过反射栅中规律分布的缝隙降低声表面波谐振器的插损。

主权项:1.一种声表面波谐振器,其特征在于,包括:压电衬底,所述压电衬底用于声电换能;叉指电极,所述叉指电极设置在所述压电衬底的一侧表面上,用于通过施加电压以激励所述压电衬底进行声电换能;所述叉指电极包括在第一方向上交替排布的第一指条和第二指条;所述第一指条和所述第二指条均沿第二方向延伸,所述第一方向和所述第二方向在平行于所述压电衬底所在的平面上相交;两个反射栅,所述反射栅与所述叉指电极设置在所述压电衬底的同一侧表面上,且在所述第一方向上,所述叉指电极位于两个所述反射栅之间;其中,所述反射栅包括沿所述第一方向依次排布的多条反射栅指条;沿远离所述叉指电极的方向,所述多条反射栅指条依次为第1反射栅指条至第N反射栅指条,N为大于1的正整数;对于同一所述反射栅,在第1反射栅指条至第n反射栅指条中,第2i-1反射栅指条均具有位于第一参考线上的缝隙,第2i反射栅指条均具有位于第二参考线上的缝隙,所述第一参考线与所述第二参考线相交,且相交位置位于第1反射栅指条远离所述叉指电极的一侧;其中,n为不大于N的正整数;i为正整数,且2i不大于n。

全文数据:

权利要求:

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