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申请/专利权人：西北工业大学
摘要：本发明公开了一种声表面波温度传感器及制备方法，解决现有声表面波传感器灵敏度较低、测量不准确以及高敏感单元制备困难、压电基底应变传递分散等问题；一种声表面波温度传感器包括防护层、导电层、压电层和热应力补偿层；导电层设有接地端焊盘、信号端焊盘和叉指电极；压电层被设有第一应变隔离梁、第二应变隔离梁、第三应变隔离梁和第四应变隔离梁；四个应变隔离梁组成应变隔离结构；热应力补偿层被设为在温度变化时，热膨胀系数较大的热应力补偿层给压电层热应力补偿；应变隔离结构与热应力补偿层使波导对于温度变化敏感，实现单芯片温度更精准的测量，提高了测量准确性和灵敏度。
主权项：1.一种声表面波温度传感器，其特征在于，包括导电层、压电层和热应力补偿层；所述热应力补偿层上依次设置压电层和导电层；所述热应力补偿层的热膨胀系数大于压电层的热膨胀系数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西北工业大学 一种声表面波温度传感器及制备方法
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