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申请/专利权人：左蓝微(江苏)电子技术有限公司
摘要：本申请提供了一种具有横向模态抑制效果的温度补偿型声表面波装置，该装置包括压电衬底、IDT电极、抑制负载结构、温度补偿层和钝化层，温度补偿层设置在压电衬底上，并将同层设置在压电衬底上的IDT电极和抑制负载结构包覆。IDT电极包括多个依次交错间隔设置的第一电极指和第二电极指，抑制负载结构包括多对相互对应且结构对称的第一负载和第二负载、第一辅助负载和第二辅助负载，使得声表面波会因抑制负载结构而在压电衬底上具有不同的传播速度，以起到横模抑制的效果，而抑制负载结构和IDT电极同层设置，可以降低抑制负载结构的工艺难度和制造成本。
主权项：1.一种具有横向模态抑制效果的温度补偿型声表面波装置，其特征在于，包括自下而上依次层叠设置的压电衬底、IDT电极、温度补偿层和钝化层：以及位于所述压电衬底与所述温度补偿层之间，且与所述IDT电极同层设置的抑制负载结构；所述IDT电极包括多个沿第一方向依次交错间隔设置的第一电极指和第二电极指，所述抑制负载结构包括多个在所述第一方向上结构对称，且在第二方向上一一对应的第一负载和第二负载，以及在所述第一方向和或所述第二方向上相互间隔，且对称设置的第一辅助负载和第二辅助负载，所述第一方向与所述第二方向正交，且正交平面与所述压电衬底的表面平行；在所述第二方向上，所述第一电极指和第二电极指依次交错间隔形成第一边缘区域、中央重合区域和第二边缘区域，所述第一负载形成于所述第一边缘区域，所述第二负载形成于所述第二边缘区域，所述第一负载和所述第二负载分别将所述第一边缘区域和所述第二边缘区域间隔为第一声速区、第二声速区和第三声速区，所述IDT电极激发形成的声表面波沿所述第一方向的传播速度在所述第一声速区、所述第二声速区和所述第三声速区不同；所述第一辅助负载和所述第二辅助负载形成于在所述中央重合区域，并将所述中央重合区域在所述第二方向上间隔为第四声速区和第五声速区，所述声表面波沿所述第一方向的传播速度在所述第五声速区大于所述第四声速区。
全文数据：
权利要求：
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