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申请/专利权人：苏州大学

摘要：本发明公开了一种微机电技术领域的加热拉伸法制造PMMA纳米喷针的方法及PMMA纳米喷针，其中加热拉伸法制造PMMA纳米喷针的方法，旨在解决现有技术中喷针的尺寸过大、且制备方法存在成本高、效率低下、不可控等问题，其包括制以光刻胶为微米掩膜，采用湿法刻蚀方法获得微米喷针模具。采用微米喷针模具对PMMA基底进行热压印获得PMMA微米喷针。通过加热拉伸法对PMMA微米喷针进行热拉伸处理，使得PMMA微米喷针的微通道发生颈缩现象生成纳米通道，从而获得未键合的PMMA纳米喷针。本发明通过成本低廉的热压印法和加热拉伸法制备PMMA纳米喷针，工艺简单，效率高。

主权项：1.一种加热拉伸法制造PMMA纳米喷针的方法，其特征在于，包括：步骤1，制备未键合的PMMA纳米喷针和PMMA纳米喷针盖板；所述未键合的PMMA纳米喷针的制备步骤包括：步骤1.1.1，利用湿法刻蚀法制备微米喷针模具，所述湿法刻蚀法包括以下步骤：对氧化炉进行升温，并通入氧气，将硅片放入石英舟上推入氧化炉中进行干氧氧化；向氧化炉内通入氮气，退火冷却后取出硅片，得到带有二氧化硅层的硅片；将光刻胶旋涂于硅片的二氧化硅层表面，并进行前烘、紫外曝光、显影，得到光刻胶微米喷针模具图形；将光刻胶微米喷针模具图形置于氢氟酸缓冲液中，从而将微米喷针图形转移到二氧化硅层、再放置于丙酮溶液中浸泡，去除光刻胶，得到微米喷针模具；步骤1.1.2，利用热压印法通过微米喷针模具制备PMMA微米喷针，所述热压印法包括以下步骤：将微米喷针模具放置于干燥塔中；利用热压印法将微米喷针模具上的图形转移至PMMA基底上，冷却至室温后，将微米喷针模具与PMMA基底分离，得到PMMA微米喷针；步骤1.1.3，利用加热拉伸法对PMMA微米喷针进行热拉伸处理得到未键合的PMMA纳米喷针；所述加热拉伸法包括以下步骤：在PMMA微米喷针的微米通道局部粘贴加热板，利用加热板对PMMA微米喷针的微米通道进行加热；对PMMA微米喷针进行拉伸，得到未键合的PMMA纳米喷针；所述PMMA纳米喷针盖板的制备步骤包括：步骤1.2.1，切割PMMA板得到PMMA纳米喷针盖板；步骤2，对未键合的PMMA纳米喷针和PMMA纳米喷针盖板进行氧等离子处理；步骤3，将经过步骤2处理后的PMMA纳米喷针盖板与未键合的PMMA纳米喷针对齐固定并施压，热键合得到PMMA纳米喷针。

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