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一种X射线多层嵌套金属反射镜芯轴镀膜装置 

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申请/专利权人:北京控制工程研究所

摘要:一种X射线多层嵌套金属反射镜芯轴镀膜装置,将原本镀膜机的镀膜工件平面公转的转动方式转换为平面公转加绕芯轴自转的方式,有效提升了镀膜膜层厚度均匀性;在机构方面采用联轴器、扭力限制器以及螺旋伞形锥齿轮等结构,解决了系统转动惯量过大带来的过载问题,使装置长期运行顺畅、平稳、可靠;通过特殊无油、耐高温、自润滑轴承的选用,克服了普通轴承真空高温工况下转动可靠性问题;在装卡方面,设计了长度可调、直径可变的装卡机构,以适应多种规格的芯轴镀膜,达到简化装置结构的目的,有效减少了工装种类、降低了使用成本。

主权项:1.一种X射线多层嵌套金属反射镜芯轴镀膜装置,其特征在于,包括上固定板、下固定板、导轨、支撑杆、带扭力限制的联轴器、可调工件安装卡具、齿轮箱、第一轴承座、第二轴承座、锁紧装置、固定爪、滚动轴承;上固定板安装到外部的镀膜机真空腔体的顶部,导轨安装在上固定板上;支撑杆安装在下固定板上,齿轮箱、第一轴承座、第二轴承座安装在支撑杆上;可调工件安装卡具安装在第一轴承座、第二轴承座上;被镀膜芯轴通过固定爪安装在可调工件安装卡具上;下固定板通过滚动轴承和锁紧装置安装在导轨上;齿轮箱的输出轴与带扭力限制的联轴器连接。

全文数据:

权利要求:

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