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一种大口径反射镜加工装置及其加工方法 

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申请/专利权人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

摘要:本发明涉及一种大口径反射镜加工装置及其加工方法,该大口径反射镜加工装置包括连接法兰和设置于所述连接法兰的多个柔性磨盘单元,各所述柔性磨盘单元包括连接于所述连接法兰的恒压供给装置、连接于所述恒压供给装置的高自由度被动变形装置以及连接于所述高自由度被动变形装置的磨盘,本发明通过恒压供给装置与高自由度被动变形装置,提高了小口径磨盘与镜面的吻合度,避免了大口径刚性磨盘由于不吻合现象产生的碎带面形误差,本发明将若干个小口径磨盘进行组合,成倍的增大了磨盘的体积去除率,为光学元件的高效高质量制造提供了一定的保障。

主权项:1.一种大口径反射镜加工装置,其特征在于,包括连接法兰和设置于所述连接法兰的多个柔性磨盘单元,多个所述柔性磨盘单元分别用于加工大口径反射镜的待加工面的不同加工位置,其中各所述柔性磨盘单元包括连接于所述连接法兰的恒压供给装置、连接于所述恒压供给装置的高自由度被动变形装置以及连接于所述高自由度被动变形装置的磨盘;所述恒压供给装置用于为所述高自由度被动变形装置和所述磨盘提供恒压,使得所述磨盘与所述大口径反射镜的待加工面相接触;所述磨盘通过所述高自由度被动变形装置实现被动变形来自动调整自身位姿,直至与对应的加工位置的法线垂直,以此所述磨盘能够在加工过程中始终与大口径反射镜的待加工面的对应加工位置紧密贴合。

全文数据:

权利要求:

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