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申请/专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
摘要：本发明公开了一种PECVD设备石墨舟电极引入装置及电极引入控制方法，包括：驱动元件、支撑底座、固定座、滑动组件和电极杆，支撑底座的一侧与PECVD设备的炉尾法兰连接，支撑底座的另一侧设有驱动元件，驱动元件的输出端与固定座连接，支撑底座上设有滑动组件，固定座的下部与滑动组件连接，固定座的上部与电极杆连接，电极杆穿过炉尾法兰，伸入反应室内；在驱动元件的驱动下，固定座和滑动组件带动电极杆进行直线往复移动，以实现电极杆插入或脱离石墨舟的电极孔。本发明具有结构紧凑、体积小巧且拆装便捷等优点，在电极引入过程中，电极杆仅进行直线位移，无下压动作，不容易变形，也避免了电极杆与石墨舟冲击而造成石墨舟损耗。
主权项：1.一种PECVD设备石墨舟电极引入装置，其特征在于，包括：驱动元件（1）、支撑底座（2）、固定座（3）、滑动组件和电极杆（8），所述支撑底座（2）的一侧与PECVD设备的炉尾法兰（100）连接，所述支撑底座（2）的另一侧设有驱动元件（1），所述驱动元件（1）的输出端与固定座（3）连接；所述滑动组件包括滑块（4）和直线导轨（5），所述直线导轨（5）设置在支撑底座（2）上，所述滑块（4）滑动设置在直线导轨（5）上，所述固定座（3）的下部与滑块（4）连接固定，固定座（3）的上部与电极杆（8）连接，电极杆（8）穿过炉尾法兰（100），伸入反应室内；在驱动元件（1）的驱动下，固定座（3）和滑块（4）带动电极杆（8）沿着直线导轨（5）进行直线往复移动，以实现电极杆（8）插入或脱离石墨舟（200）的电极孔（201）。
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权利要求：
百度查询： 湖南红太阳光电科技有限公司 PECVD设备石墨舟电极引入装置及电极引入控制方法
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