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申请/专利权人：青岛华芯晶电科技有限公司;山西鼎芯晶体材料有限公司
摘要：本发明涉及数据处理技术领域，尤其涉及一种晶体生长过程能耗智能检测方法及系统。方法包括步骤：采集加热功率数据以及热流量数据，将加热功率数据划分为多组加热功率数据，并根据多组加热功率数据构建多个箱线图，对每个箱线图中的加热功率数据进行分析，获取每个箱线图中加热功率数据的噪声程度；根据每个箱线图中加热功率数据的噪声程度，获取每个箱线图的扩展因子，根据每个箱线图的扩展因子对箱线图的最大扩展长度进行修正，获取每个箱线图的扩展长度，根据每个箱线图的扩展长度，获取每个箱线图的更新箱线图，根据每个箱线图的更新箱线图对每个加热功率数据进行异常判断，本发明提高异常检测的准确性，避免了噪声数据的影响。
主权项：1.一种晶体生长过程能耗智能检测方法，其特征在于，包括步骤：采集加热功率数据以及热流量数据；将加热功率数据划分为多组加热功率数据；根据多组加热功率数据构建多个箱线图；获取每个箱线图中加热功率数据的噪声程度；获取每个箱线图的扩展因子，代表第x个箱线图的扩展因子；代表第x个箱线图中加热功率数据的噪声程度；代表第x个箱线图的前一个箱线图中加热功率数据的噪声程度；代表第x个箱线图中加热功率数据的个数；代表第x个箱线图中第b个加热功率数据的值；代表第x个箱线图的前一个箱线图中第b个加热功率数据的值；代表预设第二超参数；获取每个箱线图的扩展长度，所述扩展长度与每个箱线图的扩展因子正相关；根据每个箱线图的扩展长度，获取每个箱线图的更新箱线图。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 青岛华芯晶电科技有限公司 山西鼎芯晶体材料有限公司 一种晶体生长过程能耗智能检测方法及系统
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