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摘要：一种光学反射仪、检测装置、化学机械研磨设备和检测待检测样品表面的方法。光学反射仪包括：至少一个光源10、分光件20和第一反光件30；光源10用于产生初始光束100；分光件20位于初始光束100的光路中，用于将初始光束100分割为第一分束101和第二分束102；第一分束101照射在目标面，第一反光件30用于改变第二分束102的传播方向，以使第二分束102照射在目标面。通过分光件20，能够将光源10产生的初始光束100分割为两个沿不同方向进行传播的分束，从而能够减少光源10的使用数量，有利于降低光学反射仪的制作成本和体积，便于实现小型化设计。
主权项：一种光学反射仪，其特征在于，包括：至少一个光源，用于产生初始光束；分光件，位于所述初始光束的光路中，用于将所述初始光束分割为沿第一方向传播的第一分束和沿第二方向传播的第二分束，且所述第一分束照射在目标面；第一反光件，位于所述第二分束的光路中，用于改变所述第二分束的传播方向，以使所述第二分束照射在所述目标面；其中，所述第一分束照射至所述目标面后，反射至第一传感器；所述第二分束照射至所述目标面后，反射至第二传感器。
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百度查询： 华为技术有限公司 一种光学反射仪和检测待检测样品表面的方法
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