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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：提供了用于在制造系统处运输物体的基于夹持的运输速度的系统和方法。控制器可以检测放置在机械臂的终端受动器上的物体。控制器可以经由真空夹持垫施加真空压力，以将物体固定于终端受动器。控制器可以获得指示物体和终端受动器之间的真空压力的量的真空压力测量结果，和确定所获得的真空压力测量结果是否满足真空压力标准。控制器可以基于所获得的所述真空压力测量结果是否满足所述真空压力标准来确定针对使用所述机械臂运输所述物体的运输速度设定。控制器可以根据所述运输速度设定引起所述机械臂移动所述物体。
主权项：1.一种制造系统，包括：机械臂，所述机械臂包含终端受动器，其中所述机械臂经配置以在所述制造系统内运输物体；及控制器，所述控制器操作地耦接到所述机械臂，其中所述控制器用于：检测放置在所述机械臂的所述终端受动器上的物体的存在；经由所述终端受动器的一个或多个真空夹持垫向在所述物体和所述终端受动器之间的空间施加真空压力，其中施加所述真空压力以将所述物体固定于所述终端受动器；通过所述机械臂的一个或多个压力传感器获得真空压力测量结果，所述真空压力测量结果指示在所述物体与所述终端受动器之间的真空压力的量；确定所获得的所述真空压力测量结果是否满足真空压力标准；基于所获得的所述真空压力测量结果是否满足所述真空压力标准来确定针对使用所述机械臂运输所述物体的运输速度设定；及根据所述运输速度设定引起所述机械臂移动所述物体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 在制造系统处用于运输物体的基于夹持的运输速度
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