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申请/专利权人：大金工业株式会社
摘要：本发明提供能够一次性大范围地进行断层摄影并且能够对位于远处的对象进行断层摄影的光学干涉断层摄影装置等。光学干涉断层摄影装置具备将来自光源的光聚光于试样的物镜，并且基于试样光与参照光的干涉进行所述试样的断层摄影，所述试样光是来自所述试样的反射光，所述参照光是来自设于所述物镜与所述试样之间的参照面的反射光，其中，所述试样光和所述参照光双方通过所述物镜，通过了所述物镜的来自光源的光以广角照射于所述试样，所述参照面由光散射体构成。
主权项：1.一种光学干涉断层摄影装置，其具备将来自光源的光聚光于试样的物镜，并且基于试样光与参照光的干涉进行所述试样的断层摄影，所述试样光是来自所述试样的反射光，所述参照光是来自设于所述物镜与所述试样之间的参照面的反射光，其中，所述试样光和所述参照光双方通过所述物镜，通过了所述物镜的来自光源的光以广角照射于所述试样，所述参照面由光散射体构成。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 大金工业株式会社 光学干涉断层摄影装置、光学干涉断层摄影系统、光学干涉断层摄影方法以及检查方法
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