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一种用于干涉仪的标准镜 

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申请/专利权人:长春盈捷光电科技有限公司

摘要:本实用新型涉及一种用于干涉仪的标准镜,包括:从左到右依次设置的第一镜片、第二镜片、第三镜片、以及第四镜片;第一镜片的第一面为凸面,曲率在200~300mm之间,其通光口径为152.4mm;第一镜片的第二面为凸面,曲率在1400~1500mm之间,其通光口径为150.938mm;第二镜片的第一面为凹面,曲率在400~450mm之间,其通光口径为149.306mm;第二镜片的第二面为凸面,曲率在2600~2700mm之间,其通光口径为147.182mm;第三镜片的第一面为凸面,曲率在180~190mm之间,其通光口径为143.264mm;第三镜片的第二面为凹面,曲率在560~570mm之间,其通光口径为140.236mm;第四镜片的第一面为凸面,曲率在110~120mm之间,其通光口径为132.436mm;第四镜片的第二面为凹面,曲率为187mm,其通光口径为125mm;本实用新型的优点:提高了测量精度;且可得到比较理想的波前值。

主权项:1.一种用于干涉仪的标准镜,其特征在于,包括:从左到右依次设置的第一镜片、第二镜片、第三镜片、以及第四镜片;所述第一镜片的第一面为凸面,曲率在200~300mm之间,其通光口径为152.4mm;所述第一镜片的第二面为凸面,曲率在1400~1500mm之间,其通光口径为150.938mm;所述第二镜片的第一面为凹面,曲率在400~450mm之间,其通光口径为149.306mm;所述第二镜片的第二面为凸面,曲率在2600~2700mm之间,其通光口径为147.182mm;所述第三镜片的第一面为凸面,曲率在180~190mm之间,其通光口径为143.264mm;所述第三镜片的第二面为凹面,曲率在560~570mm之间,其通光口径为140.236mm;所述第四镜片的第一面为凸面,曲率在110~120mm之间,其通光口径为132.436mm;所述第四镜片的第二面为凹面,曲率为187mm,其通光口径为125mm;所述第一镜片的第一面与第一镜片的第二面的中心距离为10mm,所述第一镜片的第二面与第二镜片的第一面的中心距离为20mm,所述第二镜片的第一面与第二镜片的第二面的中心距离为10mm,所述第二镜片的第二面与第三镜片的第一面的中心距离为18mm,所述第三镜片的第一面与第三镜片的第二面的中心距离在1.5-1.6mm之间,所述第三镜片的第二面与第四镜片的第一面的中心距离为20mm,所述第四镜片的第一面与第四镜片的第二面的中心距离为187mm。

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