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申请/专利权人：清华大学
摘要：本发明公开一种全场式色散干涉测量系统，包括光源、干涉模块、空间像素编码装置、色散器件和线阵相机，所述空间像素编码装置包括空间像素编码器件及其加载的掩膜；光源采用具备空间相干性的宽光谱光源，宽光谱光源发出的光经扩束后输出宽口径光束；宽口径光束经干涉模块照射待测样品；空间像素编码器件用于将经干涉模块出射的光束进行空间光场编码，通过对空间像素编码器件加载不同形式的掩膜，从而控制输出光的强度和相位信息，经过编码后的光束进入色散器件进行光谱色散，光谱色散后的光聚焦成像于所述线阵相机。本发明能够实现单次全场面型或层析测量，测量消除了机械位移过程，具备高精度、高测速、大视场的优势，满足工业现场流水线的测量过程。
主权项：1.一种全场式色散干涉测量系统，其特征在于，该系统包括光源、干涉模块、空间像素编码装置、色散器件和线阵相机，所述空间像素编码装置包括空间像素编码器件及其加载的掩膜；所述光源采用具备空间相干性的宽光谱光源，所述宽光谱光源发出的光经扩束后输出宽口径光束；所述宽口径光束经所述干涉模块照射待测样品；所述空间像素编码器件用于将经所述干涉模块出射的光束进行空间光场编码，通过对所述空间像素编码器件加载不同形式的所述掩膜，从而控制输出光的强度和相位信息，经过编码后的光束进入所述色散器件进行光谱色散，光谱色散后的光聚焦成像于所述线阵相机。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 清华大学 一种全场式色散干涉测量系统
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