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申请/专利权人：中国科学院金属研究所
摘要：本发明属于材料成分分析领域，特别涉及一种准原位追踪高温合金微量元素分布的方法。选择高温合金样品，将样品表面处理成镜面；对样品表面进行目标位置图案标记，标记后，将样品表面再处理成镜面；放入微区X射线荧光分析装置中，定位后进行微区X射线荧光分析；将荧光分析后的样品进行高温处理，然后利用尺寸测量技术确定氧化层厚度；利用离子减薄装置去掉氧化层；将去掉氧化层的样品定位后，放入微区X射线荧光分析装置中，进行微区X射线荧光分析，实现在高温处理条件下的微量元素分布的相对变化的准原位追踪。本发明一方面可以精确定量获得高温合金微量元素的含量，另一方面可以优化并确定其最佳分布位置，从而确定加工处理工艺。
主权项：1.一种准原位追踪高温合金微量元素分布的方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：选择高温合金样品，利用表面处理技术将样品表面处理成镜面；步骤2：将步骤1的镜面样品，利用标记技术在样品表面进行目标位置图案标记；步骤3：将标记后的样品，再次利用表面处理技术将样品表面处理成镜面；步骤4：将步骤3获得的样品立即放入微区X射线荧光分析装置中，利用定位技术，在标记区域选择目标区域ROI，进行微区X射线荧光分析，多次重复测量，获得微量元素分布结果1；步骤5：将微区X射线荧光分析后的样品进行高温处理；步骤6：将高温处理后的样品，利用尺寸测量技术确定氧化层厚度；步骤7：确定氧化层厚度后，利用离子减薄装置去掉ROI处的氧化层；步骤8：将去掉氧化层的样品，放入微区X射线荧光分析装置中，利用定位技术，在标记区域选择目标区域ROI，进行微区X射线荧光分析，多次重复测量，获得元微量素分布结果2；步骤9:重复步骤5～8，获得多个元素分布结果，实现在高温处理条件下的微量元素分布相对变化的准原位追踪。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院金属研究所 一种准原位追踪高温合金微量元素分布的方法
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