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申请/专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
摘要：本发明提供了一种气体分配装置，包括：形状为多面立方体的集成歧管，该多面立方体包括多个进气面和一个输出面，每个该进气面及该输出面上分别设有多个第一进气口和多个输出口，该集成歧管的内部设有多条相互独立的气道以使得该进气面上的每个第一进气口与该输出面上的一个输出口相连通。
主权项：1.一种气体分配装置，包括：形状为多面立方体的集成歧管，其中，所述多面立方体包括多个进气面和一个输出面，每个所述进气面及所述输出面上分别设有多个第一进气口和多个输出口，所述集成歧管的内部设有多条相互独立的气道，以使得所述进气面上的每个第一进气口与所述输出面上的一个输出口相连通；所述多面立方体还包括设有多个阀口的阀体面，每个所述第一进气口与所述输出口均通过各自的所述气道连接至对应的阀口，所述阀口上设有多通阀块，用于控制每个所述第一进气口与对应输出口的连通关断；以及转接块，其上设有用于与所述集成歧管的所述输出面对接安装的输入面，所述转接块的所述输入面上的气体输入口与所述集成歧管上的所述输出口一一对应且对接密封安装，所述转接块的外侧面还设有一个或多个腔室输出口和旁路抽气口，所述转接块内部设有多路气体管道，以使所述集成歧管的多个气体输出口与一个或多个腔室输出口或旁路抽气口相连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拓荆科技(上海)有限公司 一种气体分配装置
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