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蝶形腔MPCVD装置气体输送装置 

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申请/专利权人:成都晶柱科技有限公司

摘要:本实用新型涉及蝶形腔MPCVD装置技术领域,具体涉及蝶形腔MPCVD装置气体输送装置,所述操作台下方固定设置有支撑柱,所述操作台上方固定设置有若干固定柱,所述固定柱上端固定设置有腔体装置,所述腔体装置上方设置有输气部,采用第一电机带动连接杆转动,连接杆带动封闭盘将第二输气管下端的管口进行封闭,避免混合罐内的混合气体回流到第二输气管内,导致之后输入的气体含量不纯,降低成品率,采用抽气泵将混合罐的废弃气体通过出气管抽取到废气回收箱内进行处理,避免无用气体对反应造成影响,采用温度调节装置调节环绕水管内水流的温度对混合罐进行升温,加速混合罐内的气体混合。

主权项:1.蝶形腔MPCVD装置气体输送装置,包括操作台1,其特征在于,所述操作台1下方固定设置有支撑柱2,所述操作台1上方固定设置有若干固定柱7,所述固定柱7上端固定设置有腔体装置8,所述腔体装置8上方设置有输气部。

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