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申请/专利权人：郑州势垒科技有限公司
摘要：本实用新型涉及金刚石合成技术领域，且公开了一种基于MPCVD的金刚石高效合成装置，包括底座，所述底座上表面设置有合成箱，该基于MPCVD的金刚石高效合成装置，能够通过红外线温度传感器对温度进行监测，并将数据输送给控制主机，当温度高于或低于设定值时，控制主机控制电机进行工作，控制基台本体进行升降移动，从而控制基台本体和微波等离子体之间的距离，来控制基台本体表面的金刚石生长温度，不需要调节微波输出功率，避免影响金刚石单晶合成效率，降低合成金刚石单晶的成本，简单实用。
主权项：1.一种基于MPCVD的金刚石高效合成装置，包括底座1，所述底座1上表面设置有合成箱2，其特征在于：所述合成箱2内设置有基台本体3，所述基台本体3上安装有红外线温度传感器4，且所述基台本体3上设置有玻璃防护罩5，所述红外线温度传感器4位于玻璃防护罩5内，所述基台本体3下表面连接有螺纹管6，且所述基台本体3侧面对称连接有限位滑块7，所述合成箱2内壁上对称开设有限位滑槽，所述限位滑块7与限位滑槽滑动连接，所述底座1内设置有电机8，所述电机8驱动轴的顶端连接有螺纹杆9，所述螺纹杆9设置在合成箱2内，且所述螺纹杆9与螺纹管6螺纹连接，所述合成箱2的外侧面设置有设备箱10，所述设备箱10内设置有控制主机，且所述设备箱10表面安装有与控制主机电连接的控制面板11，所述红外线温度传感器4与控制主机之间设置有第一电连接线12，所述合成箱2内侧壁上设置有线缆收纳盒13，所述第一电连接线12的部分线体设置在线缆收纳盒13内，所述合成箱2的外侧面设置有过线通道101，所述底座1与合成箱2之间通过过线通道101相连通，所述电机8与控制主机之间设置有第二电连接线14，所述第二电连接线14的部分线体位于过线通道101内。
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权利要求：
百度查询： 郑州势垒科技有限公司 一种基于MPCVD的金刚石高效合成装置
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