龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：佛山市海光智能科技有限公司
摘要：本发明公开了一种MPCVD设备的控制方法及系统，该方法包括以下步骤：采集反应腔室的真空值并判断其是否达到第一预设值，若是，则生成反应腔室清洗指令；采集反应腔室的气压值、反应腔室的温度值、反应腔室的氢气流量值以及微波电源的输出功率值；判断反应腔室的温度值是否低于第二预设值，若是，则判断反应腔室的气压值是否达到第三预设值，若否，则增加反应腔室的气压值，使之达到第三预设值并生成微波电源启动指令、增加反应腔室的氢气流量值和微波电源的输出功率值，以提高反应腔室的温度值，使其达到第二预设值。本发明解决了现有MPCVD设备在使用之前，需要人工手动对其内部的反应腔进行清洁，但人工清洗的方式增加了操作人员的工作强度的问题。
主权项：1.一种MPCVD设备的控制方法，应用于MPCVD设备，MPCVD设备包括反应腔室和微波电源，其特征在于：包括以下步骤：步骤S1：采集反应腔室的真空值并判断其是否达到第一预设值，若是，则生成反应腔室清洗指令，若否，则通过调节反应腔室的真空值，使其达到第一预设值；步骤S2：采集反应腔室的气压值、反应腔室的温度值、反应腔室的氢气流量值以及微波电源的输出功率值；步骤S3：判断反应腔室的温度值是否低于第二预设值，若是，则判断反应腔室的气压值是否达到第三预设值，若是，则生成微波电源启动指令并增加反应腔室的氢气流量值和微波电源的输出功率值，若否，则增加反应腔室的气压值，使之达到第三预设值并生成微波电源启动指令、增加反应腔室的氢气流量值和微波电源的输出功率值，以提高反应腔室的温度值，使其达到第二预设值；若否，则判断反应腔室的气压值是否达到第三预设值，若是，则生成微波电源启动指令并减少反应腔室的氢气流量值和微波电源的输出功率值，若否，则减少反应腔室的气压值，使之达到第三预设值并生成微波电源启动指令、减少反应腔室的氢气流量值和微波电源的输出功率值，以降低反应腔室的温度值，使其达到第二预设值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 佛山市海光智能科技有限公司 一种MPCVD设备的控制方法及系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号