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申请/专利权人：无锡光钻半导体科技有限公司
摘要：本实用新型涉及一种MPCVD设备的抽气稳压系统，包括MPCVD腔体，所述MPCVD腔体上固定连接有第一抽气管道，所述MPCVD腔体上固定连接有第二抽气管道，所述第一抽气管道上固定连接有第三抽气管道，所述第三抽气管道的底部设置有充气电磁阀，所述第三抽气管道的底部设置有电阻规，所述第三抽气管道的右侧设置有气动角阀，所述气动角阀通过卡箍密封圈进行连接密封有三通管道。该MPCVD设备的抽气稳压系统，MPCVD设备出气管路分为两条支路管道，采用气动阀、电磁阀对两条支路进行控制，可根据设备的不同工作状态，开闭支路管道上的阀门，有利于提升MPCVD的腔体内负压的稳定性，减少了管道连接点。
主权项：1.一种MPCVD设备的抽气稳压系统，包括MPCVD腔体1，其特征在于：所述MPCVD腔体1上固定连接有第一抽气管道2，所述MPCVD腔体1上固定连接有第二抽气管道3，所述第一抽气管道2上固定连接有第三抽气管道4，所述第三抽气管道4的底部设置有充气电磁阀5，所述第三抽气管道4的底部设置有电容规6，所述第三抽气管道4的底部设置有电阻规7，所述第三抽气管道4的右侧设置有气动角阀8，所述气动角阀8通过卡箍密封圈进行连接密封有三通管道9，所述MPCVD腔体1的底部设置有气动直阀10，所述MPCVD腔体1的底部设置有微调阀11，所述三通管道9通过卡箍密封圈进行连接密封有压差电磁阀12，所述压差电磁阀12通过卡箍密封圈进行连接密封有机械泵13，所述机械泵13上设置有机械泵出气口14。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡光钻半导体科技有限公司 一种MPCVD设备的抽气稳压系统
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