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申请/专利权人：青岛理工大学
摘要：本发明公开了一种亲疏水复合织构微磨头加工方法及骨微磨削装置，涉及磨头加工技术领域，对微磨头基体表面预处理，使基体表面粗糙化；对金刚石磨粒进行热处理，使磨粒亲水化；采用点胶机在基体表面均匀点胶，将磨粒撒在基体表面，使磨粒在基体表面形成有序排布；将带有磨粒的基体置于沉积液中，采用恒压直流电源进行初次沉积；之后在相同成分、相同温度的沉积液中，增大电流密度进行二次沉积；将二次沉积后的基体在设定温度下进行酸蚀处理，使基体表面的镀层形成疏水表面；利用激光刻蚀技术在疏水表面形成亲水条纹，使亲水条纹与疏水条纹交替分布。本发明能够增大对冷却介质的吸附能力，提高冷却介质的冷却效果。
主权项：1.一种亲疏水复合织构微磨头加工方法，其特征在于，包括：对微磨头基体表面预处理，使基体表面粗糙化；并对金刚石磨粒进行热处理，使磨粒亲水化；磨粒亲水化的方法为：将金刚石磨粒置于陶瓷坩埚中，装入电炉中进行热处理，以设定升温速率进行高温热处理，之后退火、冷却；将带有方格阵列孔洞的掩膜版包裹于涂有光刻胶的基体表面，在掩膜版表面覆盖金刚石磨粒；振动基体使磨粒分布于掩膜版的阵列孔洞，去除掩膜版后形成磨粒有序排布；将带有磨粒的基体置于沉积腔室，将高纯氮气携带加热后的气态镍通入沉积腔室，并连续通入高纯氢气，在高温条件下沉积镀层；在镀层表面涂覆光刻胶，在设定温度下进行烘胶处理；将带有方格阵列孔洞的掩膜版包裹于基体表面，紫外曝光处理后放入显影液，再次烘胶；将烘胶显影后的基体进行酸蚀处理，并进行氟化修饰得到疏水表面；利用激光刻蚀技术扫描方格凸起处，使凸起处露出镀层；经碱蚀处理后得到亲疏水复合织构微磨头；将微磨头放入氢氧化钠溶液中，在60℃的温度下碱蚀处理，完成后用去离子水洗净，并置于烘干箱中以60℃的温度进行烘干处理。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 青岛理工大学 一种亲疏水复合织构微磨头加工方法及骨微磨削装置
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