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申请/专利权人：西默有限公司;ASML荷兰有限公司
摘要：公开了根据激光器以其被操作的重复率对激光器性能的在线校准。校准可以是周期性的，并且可以在非曝光时段期间的计划期间进行。可以使用各种标准来自动选择产生可靠的符合规范的性能的重复率。然后使重复率的可靠值可用于扫描仪以作为所允许的值，并且然后允许激光器扫描仪系统使用那些允许的重复率。
主权项：1.一种用于激光器的系统，包括：测量模块，被配置为记录至少一个性能特性相对于脉冲式激光器的脉冲重复率的依赖性；比较模块，可操作地连接到所述测量模块，并且被配置为至少部分地基于所记录的依赖性和规范标准来标识所述脉冲式激光器的允许的脉冲重复率集合；以及输出，可操作地连接到所述比较模块，并且被配置为将所述允许的脉冲重复率集合传送到光刻工具的扫描仪。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西默有限公司 ASML荷兰有限公司 针对重复率相关性能变量的在线校准
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