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申请/专利权人：江苏南大光电材料股份有限公司
摘要：本发明涉及含氧高纯三甲基铝的制备装置及方法，含氧惰性气体储罐通过管路连接加氧反应容器，加氧反应容器、高纯三甲基铝产品储罐和含氧三甲基铝储罐分别通过支管路分别连接氮气管路、尾气管路、真空管路以及物料管路，各支管路上均安装有阀门；真空泵通过管路连接尾气吸收罐，尾气吸收罐通过支管路分别连接尾气管路、真空管路以及物料管路，各支管路上均安装有阀门。通过氮气将高纯三甲基铝产品储罐中的高纯三甲基铝经过物料管路压入加氧反应容器中，向加氧反应容器通入含氧惰性气体，通过控制接触反应时长、气体流速进行加氧反应，获得稳定的含氧高纯三甲基铝，纯度达99.9999％，氧含量5～1000ppm；工艺反应简单平稳，易于控制。
主权项：1.含氧高纯三甲基铝的制备装置，其特征在于：包含加氧反应容器（4）、高纯三甲基铝产品储罐（7）以及含氧三甲基铝储罐（8），含氧惰性气体储罐（1）通过管路连接加氧反应容器（4），加氧反应容器（4）、高纯三甲基铝产品储罐（7）和含氧三甲基铝储罐（8）分别通过支管路分别连接氮气管路（10）、尾气管路（11）、真空管路（12）以及物料管路（13），各支管路上均安装有阀门；真空泵（5）通过管路连接尾气吸收罐（6），尾气吸收罐（6）通过支管路分别连接尾气管路（11）、真空管路（12）以及物料管路（13），各支管路上均安装有阀门。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏南大光电材料股份有限公司 含氧高纯三甲基铝的制备装置及其方法
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