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申请/专利权人:西安交通大学
摘要:本发明提供的一种强电场下铁电晶体压电性能参数的测量装置及方法,其特征在于,包括外加电场单元、测试夹具和非接触激光测位仪,其中,已极化待测铁电单晶安装在测试夹具上;所述外加电场单元通过测试夹具与已极化待测铁电单晶电连接,用于向已极化待测铁电单晶施加设定频率和电压幅值的交流电;非接触激光测位仪用于测量已极化待测铁电单晶的应变量,并将采集到的应变量传输至PC处理器;所述PC处理器用于根据接收到的应变量计算已极化待测铁电单晶的压电常数;本装置操作方便易控、安全性高。
主权项:1.一种强电场下铁电晶体压电性能参数的测量方法,其特征在于,基于一种强电场下铁电晶体压电性能参数的测量装置,该装置包括外加电场单元、测试夹具(7)和非接触激光测位仪(5),其中,已极化待测铁电单晶(6)安装在测试夹具(7)上;所述外加电场单元通过测试夹具(7)与已极化待测铁电单晶(6)电连接,用于向已极化待测铁电单晶(6)施加设定频率和电压幅值的交流电;非接触激光测位仪(5)用于测量已极化待测铁电单晶(6)的应变量,并将采集到的应变量传输至PC处理器(3);所述PC处理器(3)用于根据接收到的应变量计算已极化待测铁电单晶(6)的压电常数;所述测试夹具(7)包括导电底座(703)、导电顶针(701)和绝缘支架(702),其中,绝缘支架(702)的一端固定在导电底座(703)的侧壁上,绝缘支架(702)的另一端固定有导电顶针(701),所述导电顶针(701)的自由端与已极化待测铁电单晶(6)一侧电极面电连接;所述已极化待测铁电单晶(6)的另一侧电极面通过固体导电银胶固定在导电底座(703)的上表面;所述已极化待测铁电单晶(6)布置在气悬浮光学平台(8)上;包括以下步骤:将已极化待测铁电单晶(6)安装在测试夹具(7)上;通过外加电场单元向已极化待测铁电单晶(6)施加不同电场强度和不同频率的交流电压,使已极化待测铁电单晶(6)产生机械形变振动;通过测量变频率、变电场强度下的机械形变,进而计算得到变频率、变电场强度下的已极化待测铁电单晶(6)压电性能参数;步骤1,通过外加电场单元向已极化待测铁电单晶(6)施加设定频率和交流电压幅值,获取已极化待测铁电单晶(6)在该频率和交流电压幅值下的形变量;步骤2,保持对已极化待测铁电单晶(6)施加的交流电压幅值不变,增大频率,获取电场强度不变,不同频率对应的已极化待测铁电单晶(6)的形变量;直到已极化待测铁电单晶(6)的形变量在频率增加而增大时为止;记录该频率为已极化待测铁电晶体(6)的转折频率;步骤3,根据得到的不同频率对应的多个形变量,计算该电场强度下,不同频率对应的已极化待测铁电单晶(6)的压电常数d33和d31;步骤4,改变施加在已极化待测铁电单晶(6)上的交流电压幅值和频率,获取已极化待测铁电单晶(6)在该频率和电压幅值下的形变量;步骤5,重复步骤2至步骤4,直到向已极化待测铁电单晶(6)施加的交流电压幅值达到外加电场单元的最大额定电压幅值为止,且向已极化待测铁电单晶(6)施加的频率小于转折频率;进而获取得到已极化待测铁电单晶(6)在变频率、变电场强度条件下的压电性能参数。
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百度查询: 西安交通大学 一种强电场下铁电晶体压电性能参数的测量装置及方法
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