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申请/专利权人：上海至临半导体技术有限公司

摘要：本发明公开了一种用于超临界清洗的湿法设备及其工作方法，其中，湿法设备包括：存放机构，存放机构内放置有晶圆片；第一传输机构，第一传输机构设置于存放机构的一侧；清洗模组，清洗模组设置于第一传输机构远离存放机构的一侧；干燥模组，干燥模组设置于第一传输机构远离存放机构的一侧，干燥模组和清洗模组相正对设置；第二传输机构，第二传输架构设置于清洗模组与干燥模组之间，且第二传输机构的一端靠近第一传输机构设置。通过对本发明的应用，提供了一种可以稳定高效对晶圆片进行清洗干燥的设备，利用该设备可以实现与晶圆清洗的湿法工艺的结合，确保晶圆在转运过程中的稳定和高效，进一步提高了晶圆的生产效率，保障了晶圆的清洗干燥质量。

主权项：1.一种用于超临界清洗的湿法设备，其特征在于，包括：存放机构，所述存放机构内放置有晶圆片；第一传输机构，所述第一传输机构设置于所述存放机构的一侧；清洗模组，所述清洗模组设置于所述第一传输机构远离所述存放机构的一侧；干燥模组，所述干燥模组设置于所述第一传输机构远离所述存放机构的一侧，所述干燥模组和所述清洗模组相正对设置；第二传输机构，所述第二传输机构设置于所述清洗模组与所述干燥模组之间，且所述第二传输机构的一端靠近所述第一传输机构设置，其中，所述存放机构和所述第一传输机构均沿第一方向延伸设置，所述清洗模组、所述干燥模组和所述第二传输机构均沿第二方向延伸设置，所述第一方向与所述第二方向垂直设置，所述第一传输机构包括：第二安装架、第一水平滑动架、第一升降架、第一安装部和第一夹持机器人，所述第二安装架沿所述第一方向延伸设置，所述第一水平滑动架可沿所述第一方向移动地安装于所述第二安装架上，所述第一升降架可升降地安装于所述第一水平滑动架上，所述第一安装部安装于所述第一升降架上，所述第一夹持机器人安装于所述第一安装部上，所述第一夹持机器人用于夹取所述晶圆片，所述第二传输机构包括：第三安装架、第二水平滑动架、第二升降架、第二安装部和第二夹持机器人，所述第三安装架沿所述第二方向延伸设置，所述第二水平滑动架可沿所述第二方向移动地安装于所述第三安装架上，所述第二升降架可升降地安装于所述第二水平滑动架上，所述第二安装部安装于所述第二升降架上，所述第二夹持机器人安装于所述第二安装部上，所述第二夹持机器人用于夹取所述晶圆片。

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