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申请/专利权人：中国科学院兰州化学物理研究所
摘要：本发明公开了一种超润滑石墨烯插层CNx薄膜的构筑方法，是以石墨中心柱靶为碳源，氮气为氮源，利用高功率脉冲非平衡磁控溅射技术，在基底表面制得石墨烯插层CNx薄膜。经XPS光电子能谱分析，所制备的CNx薄膜中，氮掺杂量不低于10.0wt%，碳含量不低于87.81wt%，sp3结构的碳含量至少为82at%，具有石墨烯插层结构。经检测，本发明CNx薄膜在惰性气体环境中表现出超低摩擦系数，且在氮气、氩气等气氛下，与多种配副滑动均可达到超润滑状态（μ0.01），呈现良好的摩擦和磨损性能，实现了宏观尺度下的超润滑性能。
主权项：1.一种超润滑石墨烯插层CNx薄膜的构筑方法，是以石墨中心柱靶为碳源，氮气为氮源，利用高功率脉冲非平衡磁控溅射技术，在基底表面制得石墨烯插层CNx薄膜；其具体包括以下工艺步骤：（1）基底的清洗：将基底分别用石油醚、无水乙醇、去离子水超声清洗，干燥后放入磁控溅射装置真空镀膜室的旋转工架上，调整基底与石墨中心柱靶的间距，并抽真空至5×10-3Pa，开启旋转工架并旋转石墨中心柱靶，且石墨靶与工架反方向匀速转动；（2）氮掺杂类金刚石非晶碳薄膜的制备：通入氩气、氮气，并调节腔室工作气压保持在0.54~0.68Pa；同时调整高功率脉冲的电源，在基底表面沉积石墨烯插层结构CNx薄膜：其中，氩气的流量控制在160sccm，氮气的流量每6分钟从50sccm切换至20sccm，高功率脉冲电源按1200V、650V和通入氮气同步变化；石墨靶的电流为100A，输出功率按12kW、6.5KW和通入氮气同步变化，偏压始终为-70V；依次循环，直至类金刚石非晶碳涂层厚度达到目标厚度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院兰州化学物理研究所 一种超润滑石墨烯插层CNx薄膜的构筑方法
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