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申请/专利权人：株式会社岛津制作所
摘要：一种离子分析装置，具备：反应室2，其被导入源自试样成分的前体离子；自由基生成部，其具有绝缘管551和使该绝缘管的内部发生放电的放电部54、552；气体供给部52、53，其能够向绝缘管的内部供给第一气体和第二气体，其中，该第一气体是自由基原料气体，该第二气体是氧气、臭氧气体、氮气、含有氧原子或氮原子的化合物的气体以及稀有气体中的任一方；真空排气部57，其对绝缘管的内部进行排气；自由基导入部55，其向反应室的内部导入自由基；以及控制部93，其执行第一动作和第二动作，其中，在该第一动作中，通过向绝缘管的内部导入第一气体并使绝缘管的内部发生放电来生成自由基，并将该自由基导入到反应室的内部，在该第二动作中，向绝缘管的内部导入第二气体。
主权项：1.一种离子分析装置，基于源自试样成分的前体离子生成产物离子并对所述产物离子进行分析，所述离子分析装置具备：反应室，其被导入所述前体离子；自由基生成部，其具有绝缘管和使该绝缘管的内部发生放电的放电部；气体供给部，其能够将第一气体和第二气体择一地供给到所述绝缘管的内部，其中，所述第一气体是作为自由基的原料的气体，所述第二气体是氧气、臭氧气体、氮气、含有氧原子或氮原子的化合物的气体以及稀有气体中的任一方；真空排气部，其对所述绝缘管的内部进行真空排气；自由基导入部，其向所述反应室的内部导入在所述绝缘管的内部生成的自由基；以及控制部，其控制所述自由基生成部、所述气体供给部、所述真空排气部以及所述自由基导入部的动作，所述控制部在所述前体离子被导入到所述反应室中的测定时间段执行第一动作，并在所述前体离子未被导入到所述反应室中的非测定时间段执行第二动作，其中，在所述第一动作中，通过在对所述绝缘管的内部进行了真空排气的状态下向所述绝缘管的内部导入所述第一气体并使所述绝缘管的内部发生放电来生成自由基，并将所述自由基导入到所述反应室的内部，在所述第二动作中，向所述绝缘管的内部导入所述第二气体。
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