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一种离子注入机用离子源电极插座结构 

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申请/专利权人:无锡翔域半导体有限公司

摘要:本实用新型公开了一种离子注入机用离子源电极插座结构,包括插板,所述插板上开设有用于与电极插头配合的插孔,插板的一侧固定设置有用于防止插头掉落的防坠组件,防坠组件包括固定块、弹簧一、连接块、滑杆以及抵接杆,固定块固定安装在所述插板上,弹簧一固定连接在所述固定块和所述连接块之间,所述连接块与所述滑杆转动连接本实用新型设置了防坠组件,先向下拉动滑杆以及抵接杆,使弹簧一伸长,将插头插入到插板上的插孔中后,再松开滑杆,使弹簧一变短,此时,抵接杆刚好与插头的底部抵接,防止插头与插孔插接时有松动,导致接触不良或者产生插头掉落的情况出现。

主权项:1.一种离子注入机用离子源电极插座结构,包括插板1,所述插板1上开设有用于与电极插头配合的插孔2,其特征在于,所述插板1的一侧固定设置有用于防止插头掉落的防坠组件3;所述防坠组件3包括固定块4、弹簧一5、连接块6、滑杆7以及抵接杆8,所述固定块4固定安装在所述插板1上,所述弹簧一5固定连接在所述固定块4和所述连接块6之间,所述连接块6与所述滑杆7转动连接,所述滑杆7与所述抵接杆8固定连接,滑杆7滑动设置在所述插板1上。

全文数据:

权利要求:

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