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申请/专利权人：常州捷佳创精密机械有限公司
摘要：本实用新型属于硅片清洗技术领域，具体涉及一种硅片清洗槽，本装置包括：清洗槽，所述清洗槽的底部一体设置有药液槽，所述药液槽的外壁与所述清洗槽的内壁之间为清洗外槽，所述清洗外槽的槽底倾斜设置，以及，所述清洗外槽的最低点设置有外槽排水口；简言之，通过清洗槽的设置，能够完成花篮的放置，对硅片进行清洗；进一步的，通过药液槽的设置，能够对清洗槽进行分区，将药液槽的内部集成干净的药液；进一步的，通过外槽排水口的设置，能够对清洗外槽进行有效排水。
主权项：1.一种硅片清洗槽（100），其特征在于，包括：清洗槽（100），所述清洗槽（100）的底部一体设置有药液槽（101），所述药液槽（101）的外壁与所述清洗槽（100）的内壁之间为清洗外槽（102），所述清洗外槽（102）的槽底倾斜设置，以及所述清洗外槽（102）的最低点设置有外槽排水口（103）；所述清洗外槽（102）之间设置有多个加强板（104），所述加强板（104）固定设置在所述清洗槽（100）的内壁和所述药液槽（101）的外壁之间；所述药液槽（101）、所述清洗槽（100）以及多个所述加强板（104）一体成型。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 常州捷佳创精密机械有限公司 一种硅片清洗槽
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