龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：麦斯克电子材料股份有限公司
摘要：一种硅片去边机缓冲台，包括吸片台、支撑柱和底座，吸片台通过支撑柱固定连接在底座上方，所述支撑柱和底座之间设有用于调整吸片台水平的柔性联结器，柔性联结器包括与支撑柱固定连接的第一连接板和与底座固定连接的第二连接板，第一连接板和第二连接板通过波形弹簧连接。本实用新型通过设置柔性联结器，当外部吸盘向下压吸片台时，吸片台能够自动调整并保持水平，防止底座的内侧出现偏磨，进而避免硅片偏移，保证硅片去边的稳定性。
主权项：1.一种硅片去边机缓冲台，包括吸片台1、支撑柱2和底座3，吸片台1通过支撑柱2固定连接在底座3上方，其特征在于：所述支撑柱2和底座3之间设有用于调整吸片台1水平的柔性联结器4，柔性联结器4包括与支撑柱2固定连接的第一连接板401和与底座3固定连接的第二连接板402，第一连接板401和第二连接板402通过波形弹簧403连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 麦斯克电子材料股份有限公司 一种硅片去边机缓冲台
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号