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申请/专利权人：惠然科技有限公司
摘要：本申请涉及扫描电子显微镜技术领域，公开了一种扫描电子显微镜中生成图像集的方法、设备及存储介质。所述方法包括：使用扫描电子显微镜按照目标拍图条件采集待测样品的多幅电镜图像，以构成初始图像集；计算所述初始图像集中每幅电镜图像的至少一个参考指标；基于所述参考指标筛选所述初始图像集中的异常图像；对筛选异常图像后的图像集中的电镜图像进行灰度直方图匹配，获得目标图像集；以及计算所述目标图像集的平均图，以生成最终图像集。利用本申请的方案，可以获得近似真实的高质量无噪声图像集，提高深度学习在SEM图像去噪领域的可用性。
主权项：1.一种用于扫描电子显微镜中生成图像集的方法，其特征在于，包括：使用扫描电子显微镜按照目标拍图条件采集待测样品的多幅电镜图像，以构成初始图像集；计算所述初始图像集中每幅电镜图像的至少一个参考指标；基于所述参考指标筛选所述初始图像集中的异常图像；根据筛选异常图像后的图像集中的电镜图像的图像偏移量确定配准参考图像和裁切参考图像；基于筛选异常图像后的图像集中的电镜图像和所述配准参考图像之间配准确定的第一偏移量是否超出缓冲像素范围来进行图像裁切，以获得初始裁切图像；以及，基于所述初始裁切图像与所述裁切参考图像之间配准确定的第二偏移量与偏移阈值之间的大小关系，以确定最终裁切图像；对筛选异常图像后的图像集中的最终裁切图像进行灰度直方图匹配，获得目标图像集；以及，计算所述目标图像集的平均图，以生成最终图像集。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 惠然科技有限公司 扫描电子显微镜中生成图像集的方法、设备及存储介质
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