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申请/专利权人：福吉米株式会社
摘要：本发明提供一种研磨用组合物，其能够得到高的表面品质，且能够提高研磨速率。提供一种研磨用组合物，其包含：作为磨粒的二氧化硅颗粒、碱性化合物、水、作为第1水溶性高分子的纤维素衍生物、作为第2水溶性高分子的聚乙烯醇系聚合物以及作为第3水溶性高分子的含有氮原子的聚合物。在上述研磨用组合物中，第1水溶性高分子的含量C1相对于第2水溶性高分子的含量C2与第3水溶性高分子的含量C3的总计含量的比即C1C2+C3为0.1以上。
主权项：1.一种研磨用组合物，其包含：作为磨粒的二氧化硅颗粒、碱性化合物、水、作为第1水溶性高分子的纤维素衍生物、作为第2水溶性高分子的聚乙烯醇系聚合物以及作为第3水溶性高分子的含有氮原子的聚合物，以重量基准计，所述第1水溶性高分子的含量C1相对于所述第2水溶性高分子的含量C2与所述第3水溶性高分子的含量C3的总计含量的比即C1C2+C3为0.1以上。
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