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申请/专利权人：大连奥首科技有限公司
摘要：本发明提供一种研磨助剂、制备方法、用途及包含其的研磨液。所述研磨助剂包括重量配比如下的各组分：分散剂1‑10份；静电斥力剂0.1‑1份；两亲性溶剂30‑50份；亲油性溶剂5‑20份；亲水性溶剂20‑40份；润湿剂0.5‑1份；软化剂0.1‑1份。包含有本发明研磨助剂的研磨液具有高分散、高效率、易清洗的特点，长时间磨料也能保持悬浮与分散、润湿铺展能力强，移除速率快、加工的碳化硅表面粗糙度低，且无明显划伤。本发明研磨助剂分散作用优异，能有效将研磨过程产生的纳米颗粒分散开，避免吸附到磨料表面，进而显著提高磨料寿命。
主权项：1.一种研磨助剂，其特征在于，包括重量配比如下的各组分：分散剂1-10份；静电斥力剂0.1-1份；两亲性溶剂30-50份；亲油性溶剂5-20份；亲水性溶剂20-40份；润湿剂0.5-1份；软化剂0.1-1份；所述分散剂为聚丙烯酸酯、聚氧乙烯醇、聚醚多元醇和EOPO嵌段聚合物中的一种或几种；所述静电斥力剂为2-乙基己酸锌、4-羟基苯磺酸锌、4-甲基苯亚磺酸锌、二乙基次膦酸锌、乙二胺四乙酸二钠锌和2-乙基己酸铬中的一种或几种。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 大连奥首科技有限公司 一种研磨助剂、制备方法、用途及包含其的研磨液
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