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申请/专利权人：日月新半导体(昆山)有限公司
摘要：本发明公开了一种带传感器的匀胶机，属于晶圆匀胶技术领域，包括送片单元、涂布单元、热板单元、收片单元和检测传感单元，所述检测传感器包括支架、对射传感器、继电器和开关电源。本发明通过使用两个对射传感器，扩大了检测范围，提高了检测精度，有效避免了因晶圆槽深或边缘翘曲导致的误感应或未感应问题，可使双台面槽深晶圆以及单台面翘曲晶圆避免被反射传感器误感应或未感应导致的报警甚至破片。
主权项：1.一种带传感器的匀胶机，其特征在于：包括：送片单元，所述送片单元上手动放置有装载晶圆的盒子，输入程序后送片单元自动运行，经过皮带将晶圆传送至匀胶单元；涂布单元，所述涂布单元对晶圆进行涂胶、旋转、背面清洗等程序，然后经过皮带将晶圆传送至热板单元；热板单元，所述热板单元对晶圆表面进行光刻胶烘烤，所述热板单元将热板温度固定在130℃，然后经过皮带将晶圆传送至收片单元；收片单元，所述收片单元上事先手动放置装载晶圆的空盒，晶圆运行至收片单元时自动将晶圆收入在盒子里；检测传感单元，所述检测传感器检测晶圆通过后，下一晶圆才会继续在涂布单元上匀胶；所述检测传感器包括支架、对射传感器、继电器和开关电源；所述支架用于安装对射传感器、继电器和开关电源；所述对射传感器设置在涂布单元与热板单元之间，所述对射传感器用于检测晶圆的通过；所述继电器与对射传感器电性连接，所述继电器用来控制晶圆传送带的启动或停；所述开关电源与对射传感器和继电器电性连接，开关电源为检测传感单元提供稳定电源，将输入的交流电或直流电转换为所需的电压和电流，供对射传感器和继电器使用。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 日月新半导体(昆山)有限公司 一种带传感器的匀胶机
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