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申请/专利权人：江苏雷博微电子设备有限公司

摘要：本申请涉及显影机显影液检测技术领域，具体涉及基于神经网络的匀胶显影机显影液更换方法，该方法包括：对于各次显影，采集显影持续时间、温度检测向量和检测三维模型；获取第一检测三维体素化模型和标准体素化模型；根据第一检测三维体素化模型和标准体素化模型中体素块的三维坐标计算各次显影的平均显影深度，结合相邻显影的平均显影深度获得显影消耗估计值；结合显影消耗估计值和温度检测向量获得各次显影的特征增强温度信号；根据所有显影的特征增强温度信号、平均显影深度和显影消耗估计值，获得当前显影的显影液更换结果，提高显影液的更换效率。

主权项：1.基于神经网络的匀胶显影机显影液更换方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤S10，对于各次显影，采集显影持续时间和显影过程中晶圆表面在各时刻的温度，组成温度检测向量；采集显影后晶圆表面的晶圆表面图像，获得检测三维模型；获取标准晶圆表面三维模型，分别对检测三维模型和标准晶圆表面三维模型进行体素化处理，获得第一检测三维体素化模型和标准体素化模型；步骤S20，根据第一检测三维体素化模型中体素块的三维坐标，获取深度梯度方向；根据深度梯度方向获得去残留液干扰高度；获取各次显影的显影持续时间，结合标准体素化模型和去残留液干扰高度计算平均显影深度和显影消耗估计值；步骤S30，结合显影消耗估计值和温度检测向量获得各次显影的特征增强温度信号；步骤S31，对各次显影的温度检测向量进行信号分解获得各温度分解信号，根据温度分解信号计算显影温度特征频率；根据所有温度检测向量对应的显影温度特征频率，获得温度特征频率变化倾向；根据显影消耗估计值获得效力消耗变化倾向，结合温度特征频率变化倾向划分温度分解信号的频率变化等级和效力消耗变化等级；步骤S32，根据温度分解信号的频率变化等级和效力消耗变化等级，获得各次信号分解的概率矩阵；根据概率矩阵获得各次显影的特征增强温度信号；步骤S40，根据所有显影的特征增强温度信号、平均显影深度和显影消耗估计值，获得当前显影的显影液更换结果；所述根据第一检测三维体素化模型中体素块的三维坐标，获取深度梯度方向，包括：将各投影体素块对应的体素块的z轴坐标记为各投影体素块的高度；将任一投影体素块记为待分析体素块，以待分析体素块为中心，构建预设大小的邻域窗口；在所述邻域窗口内，将以待分析体素块为中心的各预设方向上的投影体素块按照x轴坐标与y轴坐标之和从小到大排列，获得各预设方向上的投影体素块序列；将各预设方向上的投影体素块序列中的所有投影体素块的高度组成的序列，记为待分析体素块在各预设方向上的深度特征向量；对于所述各预设方向上的投影体素块序列，获取投影体素块序列中各投影体素块与待分析体素块之间的欧氏距离；获取投影体素块序列中所有投影体素块的所述欧氏距离的最大值；计算所述最大值与所述欧氏距离的差值；获取投影体素块序列中所有投影体素块的所述差值的和值；计算所述差值与所述和值的比值；获取所述深度特征向量中各投影体素块对应元素的一阶导数；计算所述一阶导数与所述比值的乘积；将投影体素块序列中所有投影体素块的所述乘积之和，作为待分析体素块在各预设方向上的深度梯度方向；所述根据深度梯度方向获得去残留液干扰高度，包括：计算所述深度梯度方向的绝对值；将待分析体素块在所有预设方向上的所述绝对值之和，作为待分析体素块的非晶圆表面权重；获取所有投影体素块的非晶圆表面权重的最大值；计算所述最大值与待分析体素块的非晶圆表面权重之间的差值，记为第一差值；获取所有投影体素块的所述第一差值的和值，记为第一和值；计算第一差值与所述第一和值的比值，记为第一比值；获取待分析体素块的高度与所述第一比值的乘积，记为第一乘积；将所有投影体素块的所述第一乘积的和值作为去残留液干扰高度；所述获取各次显影的显影持续时间，结合标准体素化模型和去残留液干扰高度计算平均显影深度和显影消耗估计值，包括：对于各次显影，计算标准体素化模型中所有体素块的z轴坐标的均值；将去残留液干扰高度与所述均值的差值绝对值记为各次显影的平均显影深度；计算各次显影的平均显影深度与显影持续时间的比值，记为第二比值；计算各次显影的前一次显影的平均显影深度与显影持续时间的比值，记为第三比值；将第二比值与第三比值的差值绝对值，作为各次显影的显影消耗估计值。

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