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申请/专利权人：苏州科技大学
摘要：本发明属于微电子器件技术领域，公开了一种基于层状多相ReS2多阻态忆阻器的制备方法及应用，通过相工程技术制备多相ReS2并转移到N型硅衬底表面，得到样品；利用光刻及磁控溅射制备源漏极以及栅极，得到层状多相ReS2的多阻态忆阻器。本发明的忆阻器包括N型硅衬底、二硫化铼、金属电极；可实现在电场驱动下的瞬时阻变效应，并且开关比高达103。此外，具有多阻态调控功能，在脉冲作用下出现16个可谐调电阻态。这种忆阻器结构简单、制备方便、性能优良，并且为二维金属硫族化合物在多阻态忆阻器中的应用提供了思路。
主权项：1.一种基于层状多相ReS2多阻态忆阻器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一，通过相工程技术制备多相ReS2并转移到N型硅衬底表面；步骤二，利用光刻及磁控溅射制备源漏极以及栅极，得到层状多相ReS2多阻态忆阻器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州科技大学 基于层状多相二硫化铼多阻态忆阻器的制备方法及应用
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