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申请/专利权人:西安电子科技大学
摘要:本发明公开了一种插入储氧层的氧化物忆阻器,从下至上依次设置底电极、功能层、顶电极,功能层填充在介质层上设置的纵向开孔结构内部;开孔结构内部引出电极接测试引线;所述功能层在进行set与reset操作的过程中使氧离子发生迁移。本发明在进行set与reset操作的过程中使得HfO2中的氧离子发生迁移,从而实现Ta与TaOy的转变,并将氧离子牢牢控制在功能层储氧层中。
主权项:1.一种插入储氧层的氧化物忆阻器,其特征在于,从下至上依次设置底电极、功能层、顶电极,功能层填充在介质层上设置的纵向开孔结构内部;开孔结构内部引出电极接测试引线;所述功能层在进行set与reset操作的过程中使氧离子发生迁移,并将氧离子被限制在功能层的储氧层中,避免功能层中的氧离子浓度下降。
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百度查询: 西安电子科技大学 一种插入储氧层的氧化物忆阻器
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