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一种稀土元素掺杂非晶氧化钨薄膜的模拟忆阻器及其制备方法 

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申请/专利权人:陕西科技大学

摘要:本发明公开了一种稀土元素掺杂非晶氧化钨薄膜的模拟忆阻器及其制备方法,属于非易失性存储器技术领域,包括:先在衬底上沉积导电薄膜作为模拟忆阻器的底电极薄膜;然后在底电极薄膜上沉积稀土元素掺杂的非晶氧化钨薄膜,作为模拟忆阻器的存储层;最后在存储层上沉积导电薄膜作为模拟忆阻器的顶电极薄膜;得到稀土元素掺杂非晶氧化钨薄膜的模拟忆阻器。将稀土元素掺杂改性的非晶氧化钨薄膜作为模拟忆阻器的存储层,实现具有高对称性、高线性度及动态调控范围大的模拟阻变性能,具有模拟阻变性能稳定、成本低、制备工艺与COMS工艺兼容等优点,有利于规模化生成,在存内计算等技术领域具有优异的应用前景。

主权项:1.一种稀土元素掺杂非晶氧化钨薄膜的模拟忆阻器的制备方法,其特征在于,包括:先在衬底上沉积导电薄膜作为模拟忆阻器的底电极薄膜;然后在底电极薄膜上沉积稀土元素掺杂的非晶氧化钨薄膜,作为模拟忆阻器的存储层;最后在存储层上沉积导电薄膜作为模拟忆阻器的顶电极薄膜;得到稀土元素掺杂非晶氧化钨薄膜的模拟忆阻器。

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权利要求:

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