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一种三维视觉神经形态忆阻器及其制备方法 

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申请/专利权人:复旦大学

摘要:本发明公开一种三维视觉神经形态忆阻器及其制备方法。该三维视觉神经形态忆阻器包括:衬底;下部阻挡层,形成在所述衬底上;第一电极,形成在所述下部阻挡层上;上部阻挡层,形成在所述第一电极上;凹槽结构,贯穿所述上部阻挡层、所述第一电极和所述下部阻挡层,使部分硅衬底表面露出;忆阻功能层,其为氧化物异质结,形成在上述器件结构上;第二电极,其为透明电极,形成在所述凹槽结构中,通过对器件施加光激励信号,利用氧化物异质结的光响应,实现光学信息采集,进行电导调制,完成神经形态计算与存储功能。

主权项:1.一种三维视觉神经形态忆阻器,其特征在于,包括:衬底;下部阻挡层,形成在所述衬底上;第一电极,形成在所述下部阻挡层上;上部阻挡层,形成在所述第一电极上;凹槽结构,贯穿所述上部阻挡层、所述第一电极和所述下部阻挡层,使部分硅衬底表面露出;具有光电响应的忆阻功能层,其为两层氧化物组成的异质结,形成在所述上部阻挡层和所述凹槽结构上;第二电极,其为透明电极,形成在所述凹槽结构中,通过对器件施加光激励信号,利用氧化物异质结的光响应,实现光学信息采集,进行电导调制,完成神经形态计算与存储功能,所述忆阻功能层的两层氧化物为ZnO,NiO,Ta2O5,InO2,SnO2,Al2O3之间任意两者的组合。

全文数据:

权利要求:

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