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申请/专利权人：广东工业大学
摘要：本发明属于柔性电子皮肤传感器技术领域，公开了一种花朵状的ZnOPEDOT:PSS复合薄膜及其制备方法和制得的柔性电子皮肤传感器。该ZnOPEDOT:PSS复合薄膜是将在经清洗、干燥处理的ITOPET柔性衬底上的ITO面涂覆掩膜版进行磁控溅射ZnO，然后在80～90℃水热处理，去掉掩膜版，得到花朵状ZnO纳米阵列；再通过液滴打印法在花朵状ZnO纳米阵列上制备PEDOT:PSS导电层得到。本发明基于ZnOPEDOT:PSS复合薄膜制得的柔性电子皮肤传感器具有精度高，宽检测范围，高集成度以及多重响应等特点，实现类似人体指尖皮肤那样的压觉与触觉感知功能，可应用在人体桡动脉脉搏监测领域。
主权项：1.一种花朵状的ZnOPEDOT:PSS复合薄膜，其特征在于，所述ZnOPEDOT:PSS复合薄膜是将在经清洗、干燥处理的ITOPET柔性衬底上的ITO面涂覆掩膜版进行磁控溅射ZnO，然后在80～90℃水热处理，去掉掩膜版，得到花朵状ZnO纳米阵列；再通过液滴打印法在花朵状ZnO纳米阵列上制备PEDOT:PSS导电层得到。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东工业大学 一种花朵状的ZnO/PEDOT:PSS复合薄膜及其制备方法和制得的柔性电子皮肤传感器
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