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申请/专利权人:王梓臣
摘要:本发明公开了一种柔性透明电极及其制备方法,该柔性透明电极的制备方法包括:在硬质基底上部署生物相容性粘合剂以形成薄膜粘合层;在薄膜粘合层上部署具有柔性与绝缘性的生物相容性薄膜材料以形成薄膜绝缘层;在薄膜绝缘层上部署透明的生物相容性光刻胶以形成光刻粘合层;在光刻粘合层上先后部署导电材料和图案光刻胶,并先后进行光刻、显影和蚀刻操作以形成具有预设电极图案的导电层;在导电层上部署所述透明的生物相容性光刻胶,并在导电层中电极位点处的上方开窗,以形成具有开窗的封装层;将薄膜绝缘层从硬质基底上剥离,以形成柔性透明电极;本发明解决了传统电极因刚性而导致的不透明、不耐化学腐蚀、使用寿命较短的问题。
主权项:1.一种柔性透明电极的制备方法,其特征在于,所述方法包括:在硬质基底上部署生物相容性粘合剂以形成薄膜粘合层;在所述薄膜粘合层上部署具有柔性与绝缘性的生物相容性薄膜材料以形成薄膜绝缘层;在所述薄膜绝缘层上部署透明的生物相容性光刻胶以形成光刻粘合层;在所述光刻粘合层上先后部署导电材料和图案光刻胶,并先后进行光刻、显影和蚀刻操作以形成具有预设电极图案的导电层;在所述导电层上部署所述透明的生物相容性光刻胶,并在所述导电层中电极位点处的上方开窗,以形成具有开窗的封装层;将所述薄膜绝缘层从所述硬质基底上剥离,以形成包含所述薄膜绝缘层、所述光刻粘合层、所述导电层和所述封装层的柔性透明电极。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 王梓臣 一种柔性透明电极及其制备方法
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