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申请/专利权人：长沙安思新能源科技有限公司
摘要：本发明涉及含硅烷尾气的回收利用领域，具体涉及半导体或光伏行业含硅烷尾气的纯化系统。本发明提供半导体或光伏行业含硅烷尾气的纯化系统，包括依次连接的过滤装置、压缩机和冷箱，所述冷箱包括换热器和气液分离器，所述换热器包括第一换热器、第二换热器、第三换热器、第四换热器、第五换热器和第六换热器；所述气液分离器包括第一气液分离器、第二气液分离器和第三气液分离器。本发明能够将针对含硅烷尾气中的可用组分回收回来继续使用，不仅能够产生一定的经济效益，降低生产成本，还能解决环保隐患。
主权项：1.半导体或光伏行业含硅烷尾气的纯化系统，其特征在于，包括依次连接的过滤装置、压缩机和冷箱，所述冷箱包括换热器和气液分离器，其中，所述换热器包括第一换热器、第二换热器、第三换热器、第四换热器、第五换热器和第六换热器；所述气液分离器包括第一气液分离器、第二气液分离器和第三气液分离器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 长沙安思新能源科技有限公司 半导体或光伏行业含硅烷尾气的纯化系统
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