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申请/专利权人：山东创瑞激光科技有限公司

摘要：本发明公开了一种半导体气柜泄漏检测装置，涉及气柜检测技术领域，包括特气柜，所述特气柜的底部开设有安装槽。通过电机、驱动齿轮相配合为调节机构提供驱动力，接收到驱动力的调节机构起到调节特气柜输气管路内径的作用，当管路内部发生收窄后，这种结构使得泄漏的特种气体从较大的空间进入较小的空间时，流速加快、气压减小并发生聚集，从而放大了泄漏的特征，方便了被气压传感器、气体传感器和气流传感器进行捕捉并通过信号处理器将得到的电信号发送给特气柜后启动爆闪灯和蜂鸣器发出声光警报，以提醒工作人员及时处理，避免发生安全隐患，整个系统结构简单，实用性高，能够有效地监测和响应特种气体的泄漏情况。

主权项：1.一种半导体气柜泄漏检测装置，包括特气柜（1），其特征在于：所述特气柜（1）的底部开设有安装槽（13），所述安装槽（13）的内部设置有缓冲机构（2），所述特气柜（1）的顶部设置有连通机构（3），所述连通机构（3）的顶部设置有容纳壳（4），所述容纳壳（4）的顶部固定连接有安装盖（41），所述安装盖（41）的顶部开设有圆形槽（42），所述容纳壳（4）的内部设置有调节机构（5），所述调节机构（5）的顶部设置有检测机构（6），所述检测机构（6）的外部设置有测试机构（7）；所述检测机构（6）包括输送管（601），所述输送管（601）的外表面靠近底部的位置安装有信号处理器（602），所述输送管（601）的内表壁靠近底部的位置设置有气压传感器（603）、气体传感器（604）和气流传感器（605），且气压传感器（603）、气体传感器（604）和气流传感器（605）和信号处理器（602）通过电信号连接；所述调节机构（5）包括上盖（501），所述上盖（501）的顶部和安装盖（41）的底部固定连接，所述上盖（501）的顶部中心处开设有内径小于圆形槽（42）内径的第一连通孔（502），所述上盖（501）的底部靠近边缘处固定连接有圆形板（503）；所述圆形板（503）的顶部等距开设有六个平槽（504），六个所述平槽（504）的内表壁之间均滑动设置有导向杆（506），六个所述导向杆（506）的顶端均固定连接有调节板（505），相邻所述调节板（505）的外表面呈贴合状态且六个所述调节板（505）相配合组成六边形，所述调节板（505）位于上盖（501）和圆形板（503）之间的夹层内部；所述圆形板（503）的底部靠近边缘处开设有转动槽（508），所述转动槽（508）的内表壁之间滑动连接有多个转动脚（509），多个所述转动脚（509）的底部之间固定连接有调节盘（510），所述调节盘（510）的顶部等距开设有六个斜槽（512），所述导向杆（506）的外表面靠近底端的位置和斜槽（512）的内表壁滑动贴合；所述调节盘（510）的外表面固定连接有齿套（513），所述调节盘（510）的顶部中心处开设有第三连通孔（511），所述圆形板（503）的顶部中心处开设有第二连通孔（507），所述安装盖（41）的顶部靠近边缘处安装有电机（43），所述电机（43）输出端钢管穿安装盖（41）的顶部并延伸至下方，所述电机（43）输出端固定连接也有驱动齿轮（44）；所述驱动齿轮（44）和齿套（513）的外表面啮合连接，所述输送管（601）的外表面贯穿圆形槽（42）且底端和上盖（501）的顶部中心处固定连接；所述测试机构（7）包括圆形套（701），所述圆形套（701）固定安装在输送管（601）的外表面上，所述圆形套（701）的内部安装有加热板（702），所述输送管（601）的外表面靠近底部的位置固定连通有投料管（703），所述投料管（703）的端部配套设置有密封盖（704），所述加热板（702）的顶部放置有氧化铜粉末（705）。

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