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申请/专利权人:索尼半导体解决方案公司
摘要:本发明提供了能够抑制第一和第二半导体基板的接合平面处的接合强度的变化的固态摄像装置。该固态摄像装置包括:设置有多个第一导体的第一半导体基板;和接合到第一半导体基板并形成有多个第二导体的第二半导体基板。该固态摄像装置被构造为使得第一半导体基板和第二半导体基板之间的接合面具有:第一导体和第二导体彼此重叠的区域、形成在第一导体上的第一绝缘膜和第二导体彼此重叠的区域、形成在第二导体上的第二绝缘膜和第一导体彼此重叠的区域以及第一绝缘膜和第二绝缘膜彼此重叠的区域。该固态摄像装置还被构造为使得在第一和第二半导体基板的接合前后,第一和第二绝缘膜的接合面积相对于第一和第二半导体基板的接合面积的比例是恒定的。
主权项:1.一种固态摄像装置,其包括:第一半导体基板,其中形成有多个第一导体;以及第二半导体基板,所述第二半导体基板接合到所述第一半导体基板并且其中形成有多个第二导体,在所述第一半导体基板和所述第二半导体基板之间的接合平面中,所述固态摄像装置包括所述第一导体和所述第二导体彼此重叠的区域、第一绝缘膜和所述第二导体彼此重叠且所述第二导体不与所述第一导体重叠的区域、第二绝缘膜和所述第一导体彼此重叠且所述第一导体不与所述第二导体重叠的区域以及所述第一绝缘膜和所述第二绝缘膜彼此重叠的区域,所述固态摄像装置被布置为使得在所述第一半导体基板和所述第二半导体基板被接合在一起之前和之后,所述第一绝缘膜和所述第二绝缘膜接合在一起的面积相对于所述第一半导体基板和所述第二半导体基板之间的接合面积的比例为恒定的。
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权利要求:
百度查询: 索尼半导体解决方案公司 固态摄像装置、制造固态摄像装置的方法和电子设备
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