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用于透射电镜样品的多规格显微镜联动分析样品台 

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申请/专利权人:南方科技大学

摘要:本发明提供了一种用于透射电镜样品的多规格显微镜联动分析样品台,该样品台包括单元体、仪器兼容外壳、装配器。其中,单元体对TEMgrid起到承载、固定作用;仪器兼容外壳有多种规格,其形状分别与所使用的仪器相适配,可固定单元体进而适用于不同的仪器中,实现多种仪器联用分析;装配器上开设三个固定槽,可直接固定TEMgrid,也可固定单元体和仪器兼容外壳。本发明以TEMgrid为基础,通过模块化的外部结构设计实现了对不同仪器的兼容,一次装入TEMgrid后仅需更换相应的仪器兼容外壳即可在多个仪器之间联用。作为一种通用样品台方案,本发明适用于二维材料从转移制备到PLM观察、AFM表征、SEM分析的全过程,充分增强了实验的便利性并提高了实验效率。

主权项:1.用于透射电镜样品的多规格显微镜联动分析样品台,其特征在于包括单元体,仪器兼容外壳,装配器(10);所述单元体包括TEMgrid固定核心(1),TEMgrid(2),垫圈(3),空心固定螺丝(4),内螺纹盲孔(5),通孔(6),其中,在TEMgrid固定核心(1)的下端开设有内螺纹盲孔(5),在内螺纹盲孔(5)的顶端开设有通孔(6),通孔(6)的直径小于内螺纹盲孔(5)的直径,TEMgrid(2)位于内螺纹盲孔(5)顶端,空心固定螺丝(4)拧在内螺纹盲孔(5)中将TEMgrid(2)压紧固定,在空心固定螺丝(4)与TEMgrid(2)之间垫置有垫圈(3);在所述仪器兼容外壳上开设有与TEMgrid固定核心(1)外形相配合的插槽;在装配器(10)上开设有与TEMgrid固定核心(1)外形相配合的单元体固定槽(11),开设有与TEMgrid(2)外形相配合的TEMgrid固定槽(12),开设有与所述仪器兼容外壳外形相配合的仪器兼容外壳固定槽(13);所述仪器兼容外壳为二维材料转移外壳(7),二维材料转移外壳(7)的外形与二维材料转移平台相适配;所述仪器兼容外壳为AFM测试兼容外壳(8),AFM测试兼容外壳(8)的外形与AFM相适配;所述仪器兼容外壳为SEM测试兼容外壳(9),SEM测试兼容外壳(9)的外形与SEM相适配;还包括定位螺丝(14),所述单元体插接在仪器兼容外壳的所述插槽中,定位螺丝(14)将单元体和仪器兼容外壳紧固连接。

全文数据:

权利要求:

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