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申请/专利权人：深圳市中图仪器股份有限公司
摘要：一种扫描电镜导航方法、系统、控制系统和存储介质，包括：样品台，设置于样品舱内，样品台用于放置样品；运动平台，设置于样品舱内，并与样品台可分离连接；运动平台用于控制样品台在样品舱内运动；反射镜，设置于样品舱内，用于对样品台及样品进行成像；取像装置，取像装置设置于周侧壁，取像装置用于采集样品舱内的第二图像，还用于获取反射镜反射的第一图像。由于在样品舱内设置反射镜，取像装置采集的影像可以包括直接拍摄样品台得到样品与环境物体的影像来避免防撞，以及通过反射镜反射样品台得到的样品影像来对样品位置进行确认，采用反射镜增大了被拍摄物体的景深，从而减少了画面畸变，提升了样品的定位精度。
主权项：1.一种扫描电镜导航方法，其特征在于，包括：将样品放置于样品台上；控制运动平台驱使所述样品台移动，使所述样品台及所述样品位于反射镜对所述样品台及样品进行成像所需的范围内；其中，所述反射镜设置于样品舱内，用于对所述样品台及样品进行成像；控制取像装置拍摄所述反射镜的镜面，得到第一图像；基于所述第一图像，计算所述运动平台的运动控制数据；基于所述运动控制数据，控制所述运动平台驱使所述样品台移动至对应的位置进行扫描操作；控制所述取像装置在所述运动平台移动和或扫描操作过程中持续拍摄所述样品舱内部环境，得到第二图像；基于所述第二图像，计算所述样品与所述样品舱内的环境物体之间的距离。
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权利要求：
百度查询： 深圳市中图仪器股份有限公司 扫描电镜导航方法、系统、控制系统和存储介质
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