龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：日本碍子株式会社
摘要：本发明提供一种能够容易地进行温度特异部周边的均热设计的陶瓷加热器。本发明的静电卡盘加热器10在陶瓷制的板12中埋设有加热器电极16。在静电卡盘加热器10中，加热器电极16中的包围板12的温度变低的温度特异部T1、T2的特异部周边部分S1、S2与加热器电极16中的通常部分N相比，厚度形成得薄。
主权项：1.一种陶瓷加热器，其是在陶瓷制的板中埋设有加热器电极的陶瓷加热器，所述加热器电极中的包围所述板的温度变低的温度特异部的特异部周边部分与所述加热器电极中的通常部分相比，厚度薄，所述温度特异部是将所述加热器电极中彼此相对且分离地配置的一对端子连结时的中点，所述加热器电极具有多个电阻发热丝部，在所述多个电阻发热丝部中包含从所述一对端子分别向彼此相反的方向延伸的电阻发热丝部、和设置在所述一对端子的周边的1个以上的电阻发热丝部，所述特异部周边部分是在划出以所述中点为中心的大小不同的n个圆状线，并将所述多个电阻发热丝部中距离所述中点第k近的所述电阻发热丝部中的包含于第k小的所述圆状线中的部分设为第k个小区域时，汇集了第1个小区域～第n个小区域的区域，其中，n为2以上的整数，k为1以上且n以下的整数，所述特异部周边部分的第m个小区域比第m+1个小区域薄，其中，m为1以上且n-1以下的整数，以由所述加热器电极的多个电阻发热丝部形成的中点为中心的所述圆状线在所述温度特异部的特异部周边部分中呈椭圆或长圆。
全文数据：
权利要求：
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号