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申请/专利权人：浙江清华柔性电子技术研究院;钱塘科技创新中心
摘要：本申请涉及柔性微针电极及其制备方法，柔性微针电极中，微针阵列中的微针包括一体连接的第一部分与第二部分，第一部分具有尖端，第二部分的底部与第一柔性材料层的一侧表面连接，第二部分的表面相对微针的中心轴的倾斜角度大于第一部分的表面相对微针的中心轴的倾斜角度；导电层设置在第一柔性材料层与微针上；第二柔性材料层设置在导电层上以包裹微针，并暴露出导电层的位于微针的尖端的部分。由于第二部分的表面相对微针的中心轴的倾斜角度大于第一部分的表面相对微针的中心轴的倾斜角度，提供了底部支撑，且第二柔性材料层包裹微针，可以在提高微针高度时避免微针倒塌，保证电极采集的信号的质量。
主权项：1.一种柔性微针电极，其特征在于，包括第一柔性材料层、微针阵列、导电层及第二柔性材料层；所述微针阵列中的微针包括一体连接的第一部分与第二部分，所述第一部分具有尖端，所述第二部分的底部与所述第一柔性材料层的一侧表面连接，所述第二部分的表面相对所述微针的中心轴的倾斜角度大于所述第一部分的表面相对所述微针的中心轴的倾斜角度；所述导电层设置在所述第一柔性材料层与所述微针上；所述第二柔性材料层设置在所述导电层上以包裹所述微针，并暴露出所述导电层的位于所述微针的所述尖端的部分；所述导电层包括用于连接所述微针与电路接口的导线部分，所述导线部分呈波浪形；所述微针阵列包括呈矩阵排列的微针单元，所述微针单元包括至少一微针，所述导线部分包括多个横向延伸导线与多个纵向延伸导线，所述微针单元位于所述横向延伸导线与纵向延伸导线的交叉处；所述微针的第一部分的高度由对硅片进行深硅刻蚀的深度决定，所述微针的所述第二部分通过对已形成所述第一部分的微针阵列进行各向异性腐蚀得到。
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