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申请/专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
摘要：本发明公开了一种准分子激光器能量掉点检测方法及装置。该方法包括以下步骤：接收来自MO能量传感器的主振荡放电腔在当前脉冲的出光能量，并且计算预先设定的脉冲数量N的主振荡放电腔的出光能量的均值，判断出主振荡放电腔是否出现能量掉点；接收来自PA能量传感器的功率放大放电腔在当前脉冲的出光能量；并且，结合功率放大放电腔的预先设定的能量目标以及预先设定的脉冲数量N的功率放大放电腔的出光能量的均值，判断出功率放大放电腔是否出现能量掉点。本发明能够使准分子激光器系统快速恢复功率放大放电腔的出光口能量，因此对于光刻机的曝光线条的均匀度以及芯片的良品率影响均有显著的改善和提高。
主权项：1.一种准分子激光器能量掉点检测方法；其中，所述准分子激光器包括能量控制模块101、执行机构102、主振荡放电腔103、功率放大放电腔104、MO能量传感器105和PA能量传感器106，其特征在于包括以下步骤：接收来自所述MO能量传感器105的所述主振荡放电腔103在当前脉冲的出光能量，并且计算预先设定的脉冲数量N的所述主振荡放电腔103的出光能量的均值，判断出所述主振荡放电腔103是否出现能量掉点；接收来自所述PA能量传感器106的所述功率放大放电腔104在所述当前脉冲的出光能量；并且，结合所述功率放大放电腔104的预先设定的能量目标以及预先设定的脉冲数量N的所述功率放大放电腔104的出光能量的均值，判断出所述功率放大放电腔104是否出现能量掉点，根据在当前脉冲检测到的所述主振荡放电腔103的出光能量，预先设定的脉冲数量的所述主振荡放电腔103的出光能量的均值，预先设定的脉冲数量的所述主振荡放电腔103的出光能量的标准差，判断出所述主振荡放电腔103是否出现能量掉点。
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权利要求：
百度查询： 北京科益虹源光电技术有限公司 准分子激光器能量掉点检测方法及装置
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